據(jù)立木信息咨詢發(fā)布的《中國(guó)高純度半導(dǎo)體密封件行業(yè)發(fā)展及前景預(yù)測(cè)報(bào)告(2023-2029年)》顯示:半導(dǎo)體氟橡膠密封圈被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備,成膜、蝕刻、擴(kuò)散和清洗等設(shè)備。應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的密封件對(duì)于外觀、尺寸公差、異物等要求嚴(yán)格,產(chǎn)品的良率比較低。
半導(dǎo)體專用氟橡膠密封圈是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件之一。目前完全受制于美國(guó)、日本等國(guó)外企業(yè)的供應(yīng),處于被動(dòng)地位。
目前市場(chǎng)占有率高的全氟醚密封件品牌有美國(guó)的杜邦(Kalrez)、GT(Chemraz)、PARKER(Perfluoro),日本大金(DUPRA)和英國(guó)PPE(Perlast)等,其中杜邦(Kalrez)和GT(Chemraz)產(chǎn)品群豐富,性能優(yōu)越,占全球市場(chǎng)的60%~70%。
在中國(guó),高純度半導(dǎo)體密封件最早的生產(chǎn)企業(yè)是2020年成立的上海芯密科技有限公司和2021年成立的上海芯之翼半導(dǎo)體材料有限公司;2022年成都道弘實(shí)業(yè)有限公司成立了子公司四川弘芯氟醚科技,也從事高純度半導(dǎo)體密封件的生產(chǎn);2023年日本大金在廣東設(shè)立了大金清研先進(jìn)科技(惠州)有限公司也將投入高純度半導(dǎo)體密封件的生產(chǎn)。
2022年中國(guó)高純度半導(dǎo)體密封件產(chǎn)量12.57萬(wàn)件,同比增長(zhǎng)89.0%;2023年上半年中國(guó)高純度半導(dǎo)體密封件產(chǎn)量8.81萬(wàn)件,同比增長(zhǎng)40.2%。
近年來(lái)中國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)長(zhǎng)期處于禁運(yùn)的陰影下,整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈都在尋求國(guó)產(chǎn)化替代,同時(shí)“十四五”規(guī)劃中,國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的大力扶持,使得整個(gè)半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)面臨著前所未有的變局,相信高純度半導(dǎo)體密封件也能趁著東風(fēng),為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻(xiàn)一份力量。